カワソーテクセル

千代田区,  東京都 
Japan
http://www.kawaso-texcel.co.jp
  • 小間番号5103


電流導入端子や絶縁パイプなどの真空用気密部品、水冷ヒートシンクの専門メーカーです。

カワソーテクセルは明治10年から140年以上続いている接合の専門メーカーです。

長年培った接合のノウハウを生かし、品質・開発にこだわりを持ちご要望の仕様にお応えする製品作りに励んでいます。標準品も取り揃えておりますがカスタム品の設計・検証を得意としており、装置の仕様に合わせたご提案をいたします。

ブースでは、半導体製造装置などの真空チャンバー内への電気導入に欠かせない電流導入端子や、プロセスガス・冷却水を流すための絶縁パイプなど、セラミックを使用した絶縁製品を展示します。また、電源内のアンプや基板など様々な発熱源を冷却する水冷ヒートシンクをご紹介します。

多くのお客様から高い信頼を頂いているカワソーテクセル製品を是非直接ご覧ください。

ブースにてご来場をお待ちしております。


 出展製品

  • 電流導入端子(ハーメチック端子、気密端子、フィードスルー)
    長年培ってきたセラミックと金属の接合技術により超高真空・高圧力領域で高い気密性を有し ており、真空チャンバー内のヒーターや各種真空コンポーネントの電流・電気信号の導入など 幅広く使用されています。 極細径の多ピン型端子などカスタム品の設計力が分かる展示品を出展いたします。 ...

  • ・標準品を30種類以上取り揃えております。仕様に合わせて設計したカスタム品のご提案いたします。

    ・電極の材質はコバール、無酸素銅、ステンレス、ニッケル、チタン、モリブデン、アルミニウムなど多数ございます。

    ・電極の形状はストレートタイプ、ねじ加工タイプ、端子板タイプ、パイプタイプなど用途に合わせて設計いたします。

    ・完全非磁性や高周波導入用の電流導入端子の製作も可能です。

    ・各種フランジへの溶接も対応いたします。

    ・気密性 1×10-10[Pa・㎥/s]以下

  • 螺旋穴絶縁パイプ
    金属パイプの両端をセラミックで絶縁しながらガスを導入する絶縁パイプです。 セラミックのガス導入部を螺旋形状にすることでガスの流路距離が長くなり、放電の発生やプラズマの逆流を抑制することができます。 エッチング、CVD及びスパッタなどのプラズマ処理装置やイオン源(イオンソース)へのガス導入に使用されています。 ...

  • ・セラミックのガス導入部の穴が螺旋形状になっており、ガス流路距離を長くすることで直線的な放電の発生を抑制することができます。

    ・穴の形状をストレートにしたタイプと比較して全長は同じでも絶縁距離を長く確保することができ、省スペース化に貢献します。

    ・標準品を取り揃えているほか、仕様に合わせたカスタム品のご提案もいたします。

    ・絶縁材にセラミックを使用しているため耐熱性や耐食性が求められる環境下での使用に最適です。

    ・気密性 1×10-10[Pa・㎥/s]以下。

  • 水冷ヒートシンク(コールドプレート、水冷板)
    最適な流路設計で高い冷却性能のヒートシンクを提供します。表面温度のバラつきが少ない均 一冷却にこだわったヒートシンクです。 ...

  • ・ヒートシンクの材質は銅、アルミ、ステンレスで製作しています。

    ・標準品は多数取り揃えております。ヒートシンク表面のご希望の位置にどこにでもタップ穴を加工できるユニバーサルヒートシンクは2週間で納品します。

    ・冷却性能、用途、形状、サイズ、材質などご要望に合わせたカスタム品の製作を得意としています。最適なヒートシンクを設計し、ご提案いたします。

    ・ヒートシンクと口金(継手)は気密性の高いろう付で接合しています。長期信頼性に優れており、水漏れを心配することがなく安心してご使用いただけます。

    ・設計段階での熱解析や、実際に製品を製作して冷却性能などを実測する冷却性能試験も承っております。

  • 積層薄型ヒートシンク
    厚み3.4mm~の極薄タイプの水冷ヒートシンクです。 省スペース化の実現と軽量化が図れます。...

  • ・同じサイズの通常のヒートシンク(一本溝流路)に比べて冷却性能、圧力損失に優れています。

    ・装置内の省スペース化、ヒートシンクの軽量化に寄与します。

    ・標準品を取り揃えておりますが、構造・性能に合わせてサイズや厚みなどカスタマイズ品も設計いたします。