出展社詳細検索いただきありがとうございます。 京セラ株式会社 ファインセラミック事業本部です。
京セラは、ファインセラミックスのリーディングカンパニーとして、長年培ってきた高度な技術と開発力で、あらゆる産業の新製品や生産性の向上に貢献し技術社会の未来を拓きます。本展示会では、すべての技術者に知っていて欲しい「 ファインセラミックスの魅力 」を展示いたします。
※ファインセラミックスとは、機械、電磁気、熱、光学、生化学の特性を高度かつ複合的に持たせることが可能な素材です。
「配線の微細化、多層化が進む半導体製造装置にセラミックスが広く採用されています。露光装置には、軽量高剛性なセラミックス、エッチングや成膜装置には、耐プラズマ性や低パーティクルに加え、耐熱性や、低誘電損失の特性をもつセラミックスの採用が拡大しています。ウェハー搬送アームでは、高精度で機械的特性の優れたセラミックスが採用されています。また、光透過性が必要な窓やウェハーキャリアプレート、ウェハーコンタクトリフトピン、プラズマ導入管などに、サファイアが使用されています。材料技術・プロセス技術・設計技術・計測/評価技術などの幅広い技術と、材料から製品までの一貫工程を自社に保有しているため、様々なカスタマイズに対応可能です。まずはお気軽にお問い合わせください。」
【主な特徴】
①高強度で安定した半導通材料:安定した半導通特性（体積固有抵抗 105～109Ω) の材料バリエーションから、高強度及び最適な抵抗値を選択可能
②高精度複雑形状対応:プレス成形、射出成形（インジェクション・ＣＩＭ）、切削・高精度研削加工により、単純形状から複雑形状まで幅広く対応
③導電性接着技術による金属アッセンブリ:独自の導電性接着技術※で、セラミックと金属のアッセンブリ品対応が可能※京セラ調べ（2022年8月25日現在）
【エアスライド特徴】
①繰り返し再現性に、優れている
②移動中の振動が微小
③摺動抵抗が極めて小さく、高精度位置決めに有利
④平均効果により、高い真直度が得られる
⑤非接触のため、スティックスリップが起きない
⑥摩擦発熱しない
⑦クリーン&メンテナンスフリー
・金属より低熱容量かつ軽量な冷却 · 熱交換用部材を製作でき、高冷却効率 · 省エネルギー化に貢献 ・独自の製法により薄肉で複雑形状が可能 ・長期的 · 効率的に冷却 · 温調することが可能 ・優れた耐薬品性によりメンテナンス軽減 ・冷却 · 温調以外にも様々な用途に対応可能