金陵電機

大阪市, Osaka
Japan
https://www.kinryo-electric.co.jp/

リアルタイム反応質量分析計の実機を展示いたします。是非、ブースにお立ち寄りください！

世界の半導体製造現場で納入実績のある、Syft Technologies社製SIFT-MS（Selected Ion Flow Tube Mass Spectrometer）の実機を展示いたします。

SIFT-MSは、クリーンルーム内のAMCs(airborne molecular contaminants)やFOUPの内部汚染のリアルタイム分析が可能です。

クリーンルーム内のAMCs・FOUPの内部汚染の分析といえば「SIFT-MS」！ (20230922)

半導体製造現場において室内のAMCs濃度の管理は重要な要素であるため、その濃度は常に監視する必要があります。従来の技術、例えばGC/MSを用いた測定の場合、その定量値はサンプリング時間に亘る平均濃度になってしまうだけでなく、定量結果を得るまでの分析に時間を要します。SIFT-MSは、このAMCsの濃度変化を前処理なしでリアルタイムに測定できるため、製造現場における生産性が飛躍的に向上します。また、オプションのマルチポート導入バルブにより、1台の装置で複数のポイントのモニタリングをすることも可能となります。

マルチ反応リアルタイム質量分析計（SIFT-MS）

SIFT-MSは、オンラインの直接ガス分析の利点に、質量分析の選択性と感度を兼ね備えた装置です。このようなユニークな特性が、リアルタイムで、複数の揮発性有機化合物（VOCs）を低濃度ppbレベルで検出、定量することを可能にしています。... More Info Less Info

SIFT-MSは、クリーンルーム内のAMCsの濃度変化を前処理なしでリアルタイムに測定できる装置です。オプションのマルチポートバルブにより、1台の装置から複数ポイントのモニタリングが可能となります。