リアルタイム反応質量分析計の実機を展示いたします。 是非、ブースにお立ち寄りください!
世界の半導体製造現場で納入実績のある、Syft Technologies社製SIFT-MS(Selected Ion Flow Tube Mass Spectrometer)の実機を展示いたします。
SIFT-MSは、クリーンルーム内のAMCs(airborne molecular contaminants)やFOUPの内部汚染のリアルタイム分析が可能です。