倉敷化工

港区,  東京都 
Japan
http://www.kuraka.co.jp
  • 小間番号3426

除振台、XY精密ステージ、防振ゴム
アクティブ除振台、パッシブ除振台は高度な振動制御技術により半導体製造工程などナノテクノロジー技術を支えます。


 出展製品

  • アクティブマルチプルベース MB
    マルチプル構造により、定盤・架台レスを実現 従来の除振台は、4つの除振ユニットで1つのシステムとして機能させるため、除振性能の安定に定盤や架台が必要でした。 MBでは、マルチプル(多脚)構造を採用。それぞれの除振ユニットが個別にアクティブ制御を行うよう設計したことで、定盤・架台レスを実現しました。...

  • 軽量化・小型化により、搬入作業が劇的に簡易化

    1脚15㎏と軽量かつ薄型コンパクト。
    定盤・架台レスとなったことで、手荷物のように運べます。

    ボタン一つで最適な状態に自動設定

    オートレベリング&オートチューニング機能を実装。
    ボタンを押すだけで床面から装置搭載面までの高さを自動で一定に保ち、搭載機器に応じて制御パラメータを自動的に設定します。

    WEBアプリケーション

    従来のインストール型からWEBアプリケーションへ切り替えたことで、システムの継続開発、更新が可能になり、拡張性の高いシステムになりました。
    お客様ご自身で振動の波形を確認したり、パラメータの詳細設定を行うことも可能です。

    エアー源不要

    電源のみで動作し、エアー源は必要としません。

    6自由度アクティブ制御

    6自由度アクティブ制御により、全周波数で共振点が存在しない優れた除振効果が得られます。