クレステック

八王子市,  東京都 
Japan
http://www.crestec8.co.jp/index.html
  • 小間番号6534


電子線描画装置メーカーのクレステックです。受託描画サービスも行っております。お気軽にお立ち寄りください。

クレステックは、ポイントビーム型の専用メーカーとして25年以上、国内外に多数のEB描画装置を納入しております。装置の販売のみならず、EB描画の受託加工サービスも行っております。世界最高レベルの加速電圧を誇る130kVのXYZ型描画装置CABL-UHシリーズも販売しております。


 出展製品

  • CABL-AP
    微細加工性とレジスト感度のバランスがとれた、50kV加速電圧を採用した主力製品です。 研究開発等様々な用途に合わせたAcademic and R&Dモデル、通信用半導体レーザーのDFB-LDの 生産用に最適なProductionモデルの2種類のモデルをご用意しております。...

  • ・従来品より一層の簡易操作性と機能性を付加したマルチユーザー対応
    ・WindowsベースのオリジナルCAD, GDS IIおよびDXFに対応(オプション)
    ・単結晶ZrO/Wを採用したTFE電子銃
    ・加速電圧50kVで2nmの最小ビーム径を実現
    ・高いつなぎ精度、重ね合わせ精度
    ・抜群のビーム電流安定性、ビーム位置安定性
    ・フィールドサイズ変調ユニット 特許登録済(0.0012nmの最小アドレスサイズを実現)
    ・チャープト周期回折格子の製作も可能
    ・装置恒温システム
  • CABL-UH
    高加速電圧の採用により、レジスト内の電子線の前方散乱が少なく、より微細な加工が可能な電子線描画装置です。お客様の用途、予算に応じて130kV、110kV、90kVのラインナップを揃えています。...

  • 電子線描画装置においては、長時間安定した高電圧による電子線が必要です。そのためには微小放電がゼロでなければなりません。しかし高電圧には放電現象がつきもので、微小放電はどうしても発生してしまいます。クレステックはその微小放電がほとんど発生しない構造の鏡筒
    を新たに開発し、長時間安定稼動を実現しました。
    130kVの加速電圧は1段加速で生成し、従来の多段加速による電子銃よりも短い構造となっています。この1段加速の設計により、低収差でクーロンぼけの少ない電子光学系が実現しました。結果として、従来よりも大電流で高解像度の描画が可能となったのです。また130kVの
    高加速描画は50kVと比べると、レジスト内の電子線の前方散乱が少なく、より微細な加工が可能となります。