ケイ・エム技研

越谷市,  埼玉県 
Japan
https://kmgiken.jimdofree.com/
  • 小間番号6919

当社では、貴社の研究・開発を目的とした複雑多岐にわたる実験を強力にサポートする、

           最新鋭のスパッタリング装置を完備しています。

           特殊な材質を成膜したい時、ターゲットの材質、組成を選択したい時など。また、

           実験機や半専用機はあるが、チャンバー内を他の材質で汚染したくない時や、

           貴社所有の装置と比較したい時など、どんなご要望でもお申し付け下さい。

           迅速・確実に対応させて頂きます。


 出展製品

  • スパッタリングコーティングサービス
     機種:芝浦エレテック CFS-4ES改×3台(ターゲットφ3“)  機種:芝浦エレテック CFS-8EP改×1台(ターゲットφ5“)  スパッタ方式:RF+DC、RF+RFの同時、バイアススパッタ可能  ポンプ:油拡散×1台、ターボ×3台  基板構造:回転機構、加熱Max300℃又は冷却機構有り(4ES)  基板サイズ:4ES:~φ200mm、8EP:~φ300mm ...

    • 機種:芝浦エレテック CFS-4ES改×3台(ターゲットφ3“)
    • 機種:芝浦エレテック CFS-8EP改×1台(ターゲットφ5“)
    • スパッタ方式:RF+DC、RF+RFの同時、バイアススパッタ可能
    • ポンプ:油拡散×1台、ターボ×3台
    • 基板構造:回転機構、加熱Max300℃又は冷却機構有り(4ES)
    基板サイズ:4ES:~φ200mm、8EP:~φ300mm