工苑

川崎市高津区,  神奈川県 
Japan
https://www.koenn.co.jp/
  • 小間番号5512


速さと精密さを両立させる、Nanomotion社の真空対応超音波モータと位置決めステージを紹介します

半導体製造で使用されている電子ビーム集束イオンビーム向けの多軸ステージ、大気中での検査用に使える多軸ステージを紹介します。

いずれのステージもNanomotion社の超音波モータで駆動させています。展示会ではデモ・ステージを展示し、高速移動と精密位置決めを実際にご覧いただけます

超音波モータ駆動ステージは、当社と技術打合せをしながらNanomotion社にてカスタム設計・製造も可能です。

クリーン、真空、非磁性、超高精度(サブナノメートルの分解能)など特殊環境下での使用に適合する超音波モータを中心に、半導体製造装置や試験・分析機器、ロボットなど、25 年以上の実績を誇り安心してご使用いただけるNanomotion社の超音波モータ製品群を、ぜひ当社ブースでご覧ください。


 出展製品

  • 超音波モータSE駆動ステージおよびモータドライバ
    超音波モータSEシリーズで駆動する精密ステージと最新モータドライバAB7...

  • 超音波モータSEシリーズ
    モータ剛性の向上で、従来のHRシリーズに比べ真空動作での効率がよく、デューティーサイクルも大幅に向上しました。
    標準モデル(-S)のほか、真空モデル(-V)と真空/非磁性モデル(-VN)があります。

    モデル SE4 SE8
    最高速度 500mm/sec 500mm/sec
    ステップ分解能 サブnm サブnm
    最大駆動力 16N 32N
    静的保持力 14N 28N
    非通電時剛性 4.5N/μm 8.5N/μm
    最大消費電力 20W 40W

    使用できるモータドライバ:AB7
    使用できるNanomotion製コントローラ:XCDドライバ/制御ボード

  • 超音波モータHR駆動ステージ【実演あり】
    超音波モータHRシリーズで駆動する標準精密ステージ ...

  • 超音波モータHRシリーズ
    Nanomotion社で最も実績のある超音波モータ。

    出展ブースでは、ステージの高速移動と精密位置決め(10nm)のデモを行います
    HRモータは標準モデル(-S)のほか、真空モデル(-V)、高真空・非磁性モデル(-U)、非磁性モデル(-N)、真空・非磁性モデル(-VN)と環境に応じたモデルを選択できます。

    モデル HR1 HR2 HR4 HR8
    最高速度 250mm/sec 250mm/sec 250mm/sec 250mm/sec
    ステップ分解能(AB2ドライバ使用時) 1nm 1nm 1nm 1nm
    最大駆動力 3.5-4.5N 7-9N 15-18N 30-36N
    静止保持力 3.5N 7N 14N 28N
    非通電時剛性 0.8-1N/μm 1.4-8N/μm 2.3-2.8N/μm 3.3-3.8N/μm
    最大消費電力 5W 10W 20W 40W

    使用できるモータドライバ:AB1A、AB2,AB4、AB5、AB7
    使用できるNanomotion製コントローラ:XCDドライバ/制御ボード

  • ライトシート顕微鏡用ステージ
    超音波モータHRシリーズを使った5軸ステージです。駆動軸は、XYZに、TipとTiltとなります。...

  • Nanomotionは顕微鏡分野で独自の機能を提供しています。

    この生産中の薄型顕微鏡ステージは、高解像度と並外れた速度均一性を備え高精度な位置決めを行っています。

    位置分解能:10nm

    速度範囲:0.2~200μm/sec

    200nmステップのモーションプロファイル