【LEO事業本部】
株式会社コベルコ科研LEO事業本部は、光・電子・光学技術（Laser-Electro-Optics: LEO）を基盤に、シリコンをはじめ各種ウェーハの計測に不可欠な高精度の検査・測定装置を製造・販売いたしております。
主力装置は平坦度測定装置（TAIRAシリーズ）、エッジプロファイラー、ボウ・ワープ測定装置でございます。新型エッジプロファイルモニタをはじめ、他に今後も成長が期待される3次元実装向け貼り合せウェーハのズレ量評価や、パワー半導体向けSiC/GaN/Ga2O3等の各種ウェーハ評価メニューも取り揃えております。
【試験研究事業】
最新の半導体ソリューションをお届けします！私たち試験研究事業では、長年培ってきた材料知見を基に、半導体製造設備に用いられる各種材料の機能性評価（耐発塵性、腐食防食、フレッチング疲労、熱物性など）や設備レベルでの異常兆候検知や異常診断、各設備部材の耐久性・寿命試験などを支援致します。
そして当社の得意とするマルチスケール・マルチフィジックスCAEは、デバイス特性の予測から信頼性評価、腐食の予測など、実測データとの精度の高い連携を可能とします。
弊社要素技術の専門家がブースでお待ちしておりますので、半導体産業において、製品開発の加速、品質向上を求める皆様、是非ともお立ち寄りください。
【ターゲット事業本部】
ターゲット事業本部からは、酸化物半導体スパッタリングターゲットと、半導体検査プローブ用コーティングサービスをご紹介致します。
独自開発した高移動度酸化物半導体材料は、フラットパネルディスプレイ用途で既に多くの実用化実績のある材料です。Semicon Japanでは集積化デバイスへの展開をご提案します。
また、半導体検査プローブ先端への導電性DLC (Diamond Like Carbon)コーティングは、プローブピンに対して、Sn転写の抑制、接触抵抗の安定化、長寿命化といった機能付与をご提供いたします。