弊社は流量計メーカーとして、流量計測・制御技術を探求し続け、来年創業７５周年を迎えます。
今年のセミコンでは、半導体製造工程の薬液ラインで使用できる耐薬品性に優れたダイヤフラム式流量制御バルブ「KSFV-100」や、CVD等に適したPI機能搭載メタルシールマスフローコントローラ「ST-500」を初披露致します。 また、ブースでは新製品を用いた微少流量制御のデモンストレーションも行いますので、ぜひ実機をご覧ください。
■特長
・特殊溶着構造でコンタミネーション残留無し リークの懸念も不要 ・H2O換算で数mL/minからの精密な流量制御が可能 ・流量の精密制御とシャットオフの二つの役割を兼ね備える ・接流体部PTFE ・流量範囲（H2O） 0~500mL/min
■標準仕様
MODEL：KSFV-101 対象流体：純水、薬液、腐蝕性ガス等 流量範囲(H2O)：0～500mL/min 動作差圧：0.05～0.3MPa 入口最大圧：0.3MPa(G) 耐圧：1MPa(G) 流体温度：25℃ ±5℃ 接流体部材質：PTFE 入力信号：4～20mA 所要電源：24VDC 接続：1/4"チューブエンド、Rc1/4、1/4"ピラー スーパー300
・特殊溶着構造でコンタミネーション残留無し リークの懸念も不要 ・接流体部PTFE ・コンパクト設計 ・流量範囲(H2O) 0～4L/min
MODEL：KAFV-101 対象流体：純水、薬液、腐蝕性ガス等 CV値：0.175 動作差圧：0.05～0.3MPa 周囲温度：0～60℃ 最高使用圧力：1MPa(G) 最高使用温度：90℃ 接流体部材質：PTFE 接続：1/4"チューブエンド、Rc1/4、1/4"ピラー スーパー300 操作部 使用圧力：IN:0.4～0.6MPa 接続：1/8 NPT(IN:Xポート、Exh:Yポート)
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・温度センサ搭載により流体温度を計測、 温度補正により液温変化による精度誤差軽減 ・接液部New PFA（オーリングレス） ・コンパクト設計 ・幅広い流量レンジに対応（0.3～2.5L/minから25～250L/minまで） ・IP65相当の防水性
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・幅広い流量レンジに対応（N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで） ・表示器一体型で各種機能使用可能 瞬時/積算流量表示、アラーム設定 ・RS485通信機能あり、アナログ入出力0-5VDCあり（4-20mAに変更可能）