コムクラフト

・半導体製造における真空プラズマ蒸着、及びエッチング処理装置
・液晶パネル製造装置
・有機ELディスプレイ製造装置
・太陽電池製造装置
・航空機用アンテナのチューナーやカプラー、その他移動通信機器
・乾燥、封入用の工業用高周波発生器
・プラズマ核融合炉及び高エネルギー粒子加速器
・核磁気共鳴画像システム

当社にて評価検品を実施し、品質を確認してから納品させて頂きます。

ロータリージョイント、スリップリング、回転継手、スイベルジョイント、ロータリーコネクタ、回転コネクタ等の名称で呼ばれる製品です。

静止体から回転体への電力・信号を伝達する目的で使用されます。

Spinner社ロータリージョイントは、60年以上にわたる技術力・開発力を生かし、回転時にも非常に安定した電気特性を保つ設計となっております。

通信レーダー・アンテナ等で使用されるRF／マイクロ波／ミリ波用の同軸、導波管ロータリージョイントに始まり、光ファイバ (Fiber Optics)、電源／信号用スリップリング、高速データ通信／ＦＡネットワーク用のイーサネット(Ethernet) 、IO-LINK、流体／気体用メディアジョイント等、回転部が存在するあらゆるアプリケーションで使用可能な製品を取り揃えております。シングルチャンネル～数十のマルチチャンネルまで対応可能で、世界でも限られた複合回転製品をご提供できるメーカーとなります。

電気的接点部は、コンタクト接触式だけでなく非接触伝送の技術を使用することで、高信頼性・長寿命製品をご提供可能です。

■ プラズマソース・プラズマコンポーネント  

ミューグ社のプラズマコンポーネントは、技術革新の速いプラズマテクノロジー業界のあらゆるシーンで活躍しています。

プラズマ技術は、品質、生産性、環境適合性、高精度/フレキシブル性などが要求される場面で欠かせない技術です。プラズマ技術の限りない可能性は、エレクトロニクス、医療、自動車、精密機械産業のみならず、繊維、光学加工及び光電セル製造などに応用されています。

ミューグ社は、保有するプラズマ技術およびプラント技術で、お客様の技術革新をバックアップしており、同時にプラズマ関連の様々な特許を有しております。ミューグ社の独創的な製品で、最新のプラズマ技術へのアプローチが可能となります。

下記はミューグ社のプラズマコンポーネントの一例です。

  マイクロ波プラズマ
  ポテンシャルフリープラズマ
  ダメージフリープラズマ
  大気圧プラズマ
  常圧プラズマ

■ マイクロ波ジェネレータ(マイクロ波電源)  

915MHz／2450MHz帯のマイクロ波電源・マグネトロンヘッドを供給しております。

 915MHz電源：    19インチラック本体または独立キャビネ搭載
 2450MHz Low Power電源(6KW以下)：
    19"ラック本体／リモートマグネトロンヘッド
 2450MHz High Power電源(6kW以上)：
    19"ラック本体または独立キャビネ搭載／アイソレータ・方向性結合器標準装備

■ 小型プラズマエッチングシステム：STP Compact

卓上型サイズを実現した小型ストリッピングツールの”STPコンパクト”は、研究施設や小規模ラボでの用途に適した設計となっております。
＜製品仕様＞  
  外形寸法： W=800mm, L=800mm, H=800mm
  供試体：1x8", 1x6", 1x4" ウェハー
  周辺装置：真空ポンプ(250m3/h)
                ：ガス浄化システム(ﾄﾞﾗｲｱﾌﾞｿｰﾊﾞ)