熱のことならお任せください！
当社は産業用ヒーターや温度センサー、コントロールユニットなど アイテムを取りそろえ、大型設備や装置も手がけています。
セールスエンジニアがお客様のご要望を聞き、加熱対象、加熱用途などを考慮した 最適な製品とソリューションをオーダーメイドで提供することを得意としており、 多岐にわたる長年の知見でご要望に応えます。
会期中は新製品のジャケットヒーターや温調器、水素アニール技術を基盤とした 新技術を搭載した「原子レベルアンチエイリアス熱処理ミニマル装置」の実機ほか、 高温から低温まで各温度域に対応した各種ヒーター、温度センサーなど 熱に関する様々な製品を展示します。
熱に関するご相談・ご要望等ございましたら何なりとお申し付けください！
ヒーター
■ミニマルレーザ加熱装置
半導体製造におけるアニール工程（酸化・拡散・シンタリングなど）に使用できます。
φ12.5mmウェハ（枚葉処理）
コンパクトな筐体（幅約30cm）
クリーンルーム不要
低消費電力（定格AC100V 10A）
急速昇降温（1200℃まで1.5秒）
2つのレーザでウェハを均一に加熱（酸化膜均一性 1.3%）
ウェハ温度を細かく制御でき、温度追従性に優れる。