産業技術総合研究所エレクトロニクス・製造領域で公開している共用施設について展示しています。
産業技術総合研究所エレクトロニクス製造領域は、
ナノプロセシング施設(NPF)*
MEMS開発拠点(MEMS)
スーパークリーンルーム(SCR)
未踏デバイス試作共用ライン(COLOMODE)
AIチップ設計拠点(AIDC)
の5つの共用施設を公開しており、量子デバイス、300mm Siウェハーライン、MEMSライン、デバイス設計環境、計測・分析等様々な分野の300台近くの装置を利用することが出来ます。
利用形態は、以下の3つのカテゴリーがあり
機器利用:利用者が自分で機器を操作
技術代行:スタッフが機器を操作
技術補助:利用者の機器操作をスタッフが支援
利用者の様々なニーズにお応えいたします。
* ナノプロセシング施設(NPF)は、文科省マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)に参加しています。