産業技術総合研究所

つくば市,  茨城県 
Japan
https://www.tia-kyoyo.jp/page/dir000004.html
  • 小間番号4146

産業技術総合研究所エレクトロニクス・製造領域で公開している共用施設について展示しています。

産業技術総合研究所エレクトロニクス製造領域は、

 ナノプロセシング施設(NPF)*

 MEMS開発拠点(MEMS)

 スーパークリーンルーム(SCR)

 未踏デバイス試作共用ライン(COLOMODE)

 AIチップ設計拠点(AIDC)

の5つの共用施設を公開しており、量子デバイス、300mm Siウェハーライン、MEMSライン、デバイス設計環境、計測・分析等様々な分野の300台近くの装置を利用することが出来ます。

利用形態は、以下の3つのカテゴリーがあり

 機器利用:利用者が自分で機器を操作

 技術代行:スタッフが機器を操作

 技術補助:利用者の機器操作をスタッフが支援

利用者の様々なニーズにお応えいたします。

* ナノプロセシング施設(NPF)は、文科省マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)に参加しています。