ジェー・エー・ウーラム・ジャパン

杉並区,  東京都 
Japan
http://www.jawjapan.com
  • 小間番号6125


真空紫外から赤外領域まであらゆる測定波長のご要求に合った、様々なエリプソメーターをご紹介いたします

弊社は非接触・非破壊で薄膜やバルクを測定・解析する分光エリプソメーターの専門メーカーです。真空紫外から赤外領域までの広い波長範囲をカバーするさまざまな装置と、産業および研究分野での応用例をご紹介いたします。

高速分光エリプソメーター(M-2000):特許のRCE技術(回転補償子型エリプソメーター)で数百の波長を数秒間で同時解析できます。スピードと正確性が要求されるアプリケーションで理想的な装置です。

自動多入射角分光エリプソメーター(VASE):複数入射角によるデータの同時解析により真空紫外から赤外領域までを非接触・非破壊で薄膜解析できます。半導体・誘電体・ポリマー・金属・多層膜など、あらゆるタイプの物質を調べることのできる私たちの最も強力で汎用性の高いエリプソメーターです。

簡易高速分光エリプソメーター(alpha 2.0):薄膜の膜厚と屈折率の測定なら、コンパクトなデザインの新型、alpha 2.0がおすすめです。従来の大掛かりな装置ではなく、可能な限り小さくコンパクトにまとめました。理想的なテーブルトップの装置です。


 出展製品

  • theta-SE
    マッピング用小型高速分光エリプソメーター...

  • theta-SEは薄膜の均一性をワンタッチで評価することが可能な分光エリプソメーターです。リーズナブルな価格とコンパクトなパッケージでありながら高度なエリプソメトリー測定を提供します。
  • iSE
    in-situ用高速分光エリプソメーター...

  • iSEは薄膜の成膜過程をリアルタイムでモニタリングするために開発された全く新しいin-situ用の分光エリプソメーターです。私たちが培ってきた技術により、ユーザーは膜の光学定数の最適化、0.1nm以下の感度での薄膜成長過程の制御および薄膜の成長速度のモニタリングができます。