システムズエンジニアリング

分光分析の挑戦！

光計測から半導体産業を支える

システムズエンジニアリングは、サーモフィッシャーサイエンティフィック社のリサーチグレードFT-IRとジェーイーエル社の自動搬送システムを搭載した次世代型FT-IR"SE-50シリーズ"を製造しています。

N2によるパージ性能と測定効率を追求し、業界最高水準の高精度計測が可能です。

SE-50シリーズでは、お客様の目的に合わせた多彩なアプリケーションをご用意しています。

　　・EPI膜厚(Si,SiC,SOI)

　　・シリコン中の炭素・酸素濃度

　　・BPSG膜中のリン・ボロン濃度

　　・SiN膜中の水素濃度

　　・シリコン酸化膜中のフッ素濃度

　　・非拡散層膜厚

　　・その他カスタマイズ

　　・酸素濃度

ブースでは、SE-50シリーズの特長をご紹介しています。

ぜひお立ち寄りください。

FT-IR SE50S-ECO Stage System

・2-8インチまたは6-12インチウェーハ対応・ステージタイプ・ウェーハ内自動多点測定システム・直感的な操作可能なソフトウェア制御... More Info Less Info

半導体工場ライン用 FT-IR

FT-IR SE50A-ECO 200SS

・4-8インチウェーハ対応・シングルカセット　・真空吸着ロボット搬送システム・直感的な操作可能なソフトウェア制御・省スペースモデル... More Info Less Info

半導体工場ライン用 FT-IR

FT-IR SE50A-ECO 200DS

・4-8インチウェーハ対応・ダブルカセット　・真空吸着ロボット搬送システム・直感的な操作可能なソフトウェア制御・省スペースモデル... More Info Less Info

半導体工場ライン用 FT-IR

FT-IR SE50A-ECO 300SF

・8-12インチウェーハ対応・シングルFOUP ・真空吸着ロボット搬送システム・OHT/AGV対応可・直感的な操作可能なソフトウェア制御・安全規格対応モデル(SEMI-S2、CEマーキング)... More Info Less Info

半導体工場ライン用 FT-IR

FT-IR SE50A-OiP Ingot Oi profiler

・200 mm/300 mm径インゴット対応・インゴット長は最大3000 mm ・自動多点測定・直感的な操作可能なソフトウェア制御... More Info Less Info

半導体工場ライン用 FT-IR