システムズエンジニアリング

  • 小間番号6837


分光分析の挑戦!

光計測から半導体産業を支える

システムズエンジニアリングは、サーモフィッシャーサイエンティフィック社のリサーチグレードFT-IRとジェーイーエル社の自動搬送システムを搭載した次世代型FT-IR"SE-50シリーズ"を製造しています。

N2によるパージ性能と測定効率を追求し、業界最高水準の高精度計測が可能です。

SE-50シリーズでは、お客様の目的に合わせた多彩なアプリケーションをご用意しています。

  • Wafer測定

  ・EPI膜厚(Si,SiC,SOI)

  ・シリコン中の炭素・酸素濃度

  ・BPSG膜中のリン・ボロン濃度

  ・SiN膜中の水素濃度

  ・シリコン酸化膜中のフッ素濃度

  ・非拡散層膜厚

  ・その他カスタマイズ

  • インゴット測定

  ・酸素濃度

ブースでは、SE-50シリーズの特長をご紹介しています。

ぜひお立ち寄りください。


 出展製品

  • FT-IR SE50S-ECO Stage System
    ・2-8インチまたは6-12インチウェーハ対応 ・ステージタイプ ・ウェーハ内自動多点測定システム・直感的な操作可能なソフトウェア制御...

  • 半導体工場ライン用 FT-IR
  • FT-IR SE50A-ECO 200SS
    ・4-8インチウェーハ対応 ・シングルカセット ・真空吸着ロボット搬送システム ・直感的な操作可能なソフトウェア制御 ・省スペースモデル...

  • 半導体工場ライン用 FT-IR
  • FT-IR SE50A-ECO 200DS
    ・4-8インチウェーハ対応 ・ダブルカセット ・真空吸着ロボット搬送システム ・直感的な操作可能なソフトウェア制御 ・省スペースモデル...

  • 半導体工場ライン用 FT-IR
  • FT-IR SE50A-ECO 300SF
    ・8-12インチウェーハ対応 ・シングルFOUP ・真空吸着ロボット搬送システム ・OHT/AGV対応可 ・直感的な操作可能なソフトウェア制御 ・安全規格対応モデル(SEMI-S2、CEマーキング)...

  • 半導体工場ライン用 FT-IR
  • FT-IR SE50A-OiP Ingot Oi profiler
    ・200 mm/300 mm径インゴット対応 ・インゴット長は最大3000 mm ・自動多点測定 ・直感的な操作可能なソフトウェア制御...

  • 半導体工場ライン用 FT-IR