芝浦エレテック

キノシステム^®の特徴は「その場で改善ポイントがみつかる」「取付簡単で効果を実感できる」

「フレキシブルなカスタマイズ」です。

導入いただければ、故障の予知、メンテサイクルの最適化で生産設備の稼働と生産性が

向上できます。また、当社ではキノシステム^®で取得したデータから改善のアドバイス、

データ分析、施工も実施します。

お客様のご要望にもフレキシブルに対応いたしますので、カスタマイズで様々なことが実現

可能です。半導体工場様向けのカスタム事例のご紹介もおこなっております。

■課題を発見しメンテナンスサービスまでサポートします。

 　①見えないトラブルの「見える化」を支援

　 ②データを作る、グラフを作成するなどの手間を一切排除

■洗浄

　アルマイト部品や石英部品等、各種洗浄に対応できます。

　洗浄品の付着物の分析、DMS(デジタルマイクロスコープ)による洗浄前後の

　比較写真も合わせてご相談ください。

　・各社半導体製造装置部品の精密洗浄

　　- 各種プロセス装置部品の精密洗浄に対応します

　・ドライエッチング装置やCVD装置部品の反応生成物除去

　　- 各種溶射膜表面の反応生成物除去洗浄にも対応します

　・各社成膜装置部品の洗浄

　　- スパッタ、蒸着装置部品の洗浄と各種溶射膜の再生に対応します

　・液晶マスクの洗浄

　・配管部品・各種バルブの精密洗浄

　　- 分解、洗浄、組立、動作試験を行なって出荷します

　・真空ポンプの分解洗浄

■再生

　アルマイト処理、アルミナ溶射、Y₂O₃溶射等、各種膜に対応できます。

　従来のアルマイト処理はもちろんのこと、高密度で寿命の長いドリームアルマイト処理も

　ご提供します。

作業者がハンドツールを用いて移し替えていた従来の工程を自動化します。

〇自動化することで、手作業でのリスクが低減できます。
　・掴み損ねによる落下やキズの付着、ペリクル膜の破損
　・人から発生するゴミ、汚れの付着
　・人から発生する静電気によるパターン回路の破壊

〇シンプルな操作でカセット間レチクルの移し替えを安全・確実におこないます。

〇ご要望に応じ、カスタム対応します
　・各種ケースへの対応
　・レチクルサイズの変更
　・ブロー機能追加 etc.