写真化学

小型ファイバープローブ : 30ｍｍの小型プローブを採用したことで、 機器内のわずかな空間に取り付け可能です。 

2 膜厚測定再現性 0.1nm以下(3σ)

3多層膜同時測定 9層対応

4 膜質解析機能 :・有効媒質近似(EMA)法による混合率算出 ・結晶性評価、光学定数解析

5 目的によって選べる光源:白色LED　タングステンハロゲン　重水素ハロゲン

6 無線対応（オプション） 

7 透過率測定（オプション）

8 自動マッピング測定（オプション） 

１最大300mmウェハの 全面自動膜厚マッピング測定が可能

 2 自動アライメント機能 ・ノッチ、オリフラ位置の自動検出機能およびウェハ偏芯

3 自己キャリブレーション機能 ・ユニット内にシリコンポートとダークポートを備え、 キャリブレーションウェハが不要。

4 平坦度の高いウェハチャックの 採用によりウェハ面内の 測定信頼性を向上

5自動化対応（オプション） :搬送ロボットからのウェハ自動搬送に対応

6 ロードポート設置（オプション）

1.光干渉法では難しかった半透明シート・ 低反射膜・シリコンなどの厚さを測定 [*1]

2 小型ファイバープローブ:30ｍｍの小型反射プローブを採用したことで、 機器や製造ライン内のわずかな空間に取り付け可能です。 またプローブから本体へは光ファイバのみにて 接続　　　　                           　　    しているため、耐環境性に優れます。

3 高速測定　950～1650nmの近赤外波長を 100点以上で同時サンプリング：最短1msecの高速サンプリングが可能です。 生産ライン上でリアルタイム検出計測が可能です。 干渉フィル　　

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　タ等を回転させないため、耐久性・信頼性に優れています。

4 厚さ測定再現性 0.1%以下(3σ)

5 選択可能な２つの測定アルゴリズム 

  最短1msecの高速サンプリングが可能です。 生産ライン上でリアルタイム検出計測が可能です。 干渉フィルタ等を回転させないため、耐久性・信頼性に優れています。  

1.膜厚分布をその場で可視化 :・顕微鏡視野内の任意領域の 膜厚・膜質分布を測定し、分布を３D表示

2 膜厚測定分解能 0.1nm以下 :・可視波長光干式膜厚計と同等の分解能 ・450nmから750nmの波長範囲を1nm単位で指定可能

3 高速・多層膜同時測定 ９層対応 :ファイバー式膜厚モニタと同じ計算エンジンを使用し並列演算

4 対物レンズと領域指定による 任意領域の膜厚分布測定