前工程から後工程まで、 最先端プロセスを支える搬送システムソリューション
今回のSEMICON JAPANでは「EFEM」を中心とした実機展示を行います。 また、「300/200mm自動切換え機能搭載ロードポート SELOP-8.1」から「Tape Frame FOUP対応ロードポート」の実機展示、国内初出展の「SMIFロードポート」のデモンストレーションなど、幅広いラインナップをご覧いただけます。 さらに高効率な環境コントロールを可能にした「N2 EFEM」をCG映像でご紹介いたします。
展示製品
・EFEM（3ポート） ・SMIF ロードポート New ・Tape Frame FOUP対応 ロードポート ・300/200mm自動切換え機能搭載ロードポート SELOP-8.1 ・300mm FOUP対応 ロードポート ・ダイレクトドライブモータ
映像紹介 ・N2 EFEM ・ソーター ・Tape Frame EFEM
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後工程の微細化を支えるソリューションとして、E184やE63、台湾/韓国モデルなど、3シリーズあるTape Frame FOUP対応 ロードポートを用意。 今回はその中から日本市場に合わせたTape Frame FOUP ロードポートをご紹介します。
300㎜ BOLTS-M取付完全互換でSMIFの自動搬送に対応したSMIFロードポートを国内初出展します。