Advancing Tech & Innovation
世界No.1のシェアを誇るウェーハ洗浄装置をはじめ、コータ・デベロッパ、熱処理装置、検査・計測装置など、多彩な半導体製造装置のラインアップを展示します。「AI」「IoT」「5G」「データセンター」「電気自動車」「自動運転」といった社会変革のコアデバイスとなる半導体。その製造を支える、SCREENの先進テクノロジーとイノベーションをご紹介します。
・毎時最大1,200枚のスループット
・フットプリント30%削減 ※従来比
・プロセス性能の向上
・環境負荷（排気／窒素／薬液）の低減
・ビッグデータを活用した安定稼働
・カメラ監視によるトラブル防止
1. スクラバ方式として業界初※の最大16チャンバを搭載。新たなデュアル搬送システムにより、装置面積当たりの生産量が大幅に向上
2. 8チャンバの「SS-3200」2台と比べ、フットプリントを27％削減。省スペースで優れたコストパフォーマンスを発揮
3. 制御システムを刷新し、製造工程のスマートファクトリー化に貢献。装置のIoT化や装置間の連携など、機能拡張も可能
※2020年12月時点での当社調べ
・従来比約2倍のスループットを実現
・1μm以下の微細欠陥の検出や不良解析が可能
・ 実際のウェーハ画像を確認しながら容易にレシピ作成が可能
・薄ウェーハ対応
・多種・多様な薬液に対応：レジスト、ポリイミド、SOCなど
・レガシープロセスにもDUVプロセスにもフレキシブルに対応可能な拡張性
・300mm対応装置のユニット技術を、150〜200mm専用の新プラットフォーム装置に移植