SCREENセミコンダクターソリューションズ

京都市,  京都府 
Japan
https://www.screen.co.jp/spe/
  • 小間番号6246


Advancing Tech & Innovation

世界No.1のシェアを誇るウェーハ洗浄装置をはじめ、コータ・デベロッパ、熱処理装置、検査・計測装置など、多彩な半導体製造装置のラインアップを展示します。「AI」「IoT」「5G」「データセンター」「電気自動車」「自動運転」といった社会変革のコアデバイスとなる半導体。その製造を支える、SCREENの先進テクノロジーとイノベーションをご紹介します。


 出展製品

  • 枚葉式洗浄装置 SU-3400
    さらなる進化をとげる、世界シェアNo.1*洗浄装置 *当社調べ...

  • ・毎時最大1,200枚のスループット

    ・フットプリント30%削減 ※従来比

    ・プロセス性能の向上

    ・環境負荷(排気/窒素/薬液)の低減

    ・ビッグデータを活用した安定稼働

    ・カメラ監視によるトラブル防止

  • スピンスクラバ SS-3300S
    16チャンバ搭載、最大毎時1,000枚のハイスループットを実現した次世代スピンスクラバ...

  • 1. スクラバ方式として業界初※の最大16チャンバを搭載。新たなデュアル搬送システムにより、装置面積当たりの生産量が大幅に向上

    2. 8チャンバの「SS-3200」2台と比べ、フットプリントを27%削減。省スペースで優れたコストパフォーマンスを発揮

    3. 制御システムを刷新し、製造工程のスマートファクトリー化に貢献。装置のIoT化や装置間の連携など、機能拡張も可能

    ※2020年12月時点での当社調べ

  • パターン付きウェーハ外観検査装置 ZI-3600
    解像度の異なる3種類のレンズを搭載。高解像度と高生産性を両立したパターン付きウェーハ外観検査装置...

  • ・従来比約2倍のスループットを実現

    ・1μm以下の微細欠陥の検出や不良解析が可能

    ・ 実際のウェーハ画像を確認しながら容易にレシピ作成が可能

  • 【NEW】コータ・デベロッパ RF-300EX
    次世代パワーデバイス・車載デバイス向けコータ・デベロッパ...

  • ・薄ウェーハ対応

    ・多種・多様な薬液に対応:レジスト、ポリイミド、SOCなど

  • 【NEW】コータ・デベロッパ RF-200EX
    次世代パワーデバイス・車載デバイス向けコータ・デベロッパ...

  • ・レガシープロセスにもDUVプロセスにもフレキシブルに対応可能な拡張性

    ・300mm対応装置のユニット技術を、150〜200mm専用の新プラットフォーム装置に移植