１）低接触抵抗の電気コネクタ
２）様々な流体用クイックカップリング
３）ハーメチックシールコネクタ
４）スリップリング
５）ケーブルエントリーシステム
特長）回路を切り離す際、液だれがなく作業環境の汚染を防止
操作性に優れ、作業の改善を実現
用途）チラーへの冷却液、不凍液等の供給など
【特長】豊富な種類のモジュールを自由に組み合わせ可能
【主なモジュール】大電流(～350A)、信号、嵌合検知、高速通信(10Gbit)、高電圧(～5KV)、
高周波(6GHz)、光、同軸、熱電対、各種流体(気体、液体)
【用途】RF電源、ユニット間の接続、チャンバー付近の接続など
【特長】真空(特殊用途として、圧力・液体およびガス)を封止する容器を
有した装置の容器内部と外部を電気接続および絶縁可能
【用途】真空容器および圧力容器内への接続
ヒーター、RF電源、温度センサー、静電チャックなど