当社の展示ブースでは、前工程の重要なプロセスとなる露光装置のパネル・動画や当社装置で作成したサンプルを展示しております。
株式会社大日本科研では、半導体・電子部品用露光装置の製造をメインに、設計・製作からメンテナンスまで一貫したサービスを行っております。今回はφ200/300mm対応のマスクアライナーや、卓上サイズのデスクトップアライナー、フォトマスクを必要としないマスクレス露光装置をメインとして、各種露光装置をパネルや動画にて展示・ご紹介いたします。また現在、一括の投影露光装置も開発しており、今回のセミコンジャパンにてパネル出展いたします。他には研究、試作に最適なデスクトップアライナーに関しては実機展示もいたしますので、実際に操作して触って頂くことも可能です。露光装置をお探しの方、また露光工程でお困りの方がおられましたら、是非当社ブースにお立ち寄りください。皆様のご来場を心よりお待ちしております。
・独自の露光技術を用いたマイクロスポットにより、斜線描画や複雑な形状もなめらかに露光
・タクトタイムと高解像力を両立したポイントアレイ方式を採用
・露光パターンとタイトリングデータを同時加工することにより、工程の削減を可能に
・独自の高速画像処理技術でウェハとマスクを高精度にアライメント
・オートマスクチェンジャを搭載。マスクライブラリ対応可能
・非接触プリアライナを搭載。基板を傷つけることなく高精度な送り込みを実現
・独自の平行補正機構により、マスクとウエハ間のギャップを高精度に制御
・ローダ、アンローダにカセットを各2個までセット可能
・実験・研究用途に最適
・デスク上に設置可能なコンパクト設計（600×600mm）
・UV-LEDランプハウスを標準搭載（有効露光範囲φ4"）
・完全手動操作でリーズナブルな価格設定
・φ6"エリアを一括投影露光
・独自の光学設計により、面内寸法バラツキを最小化
・投影倍率可変機構を搭載
・φ300mmウエハに対応したマニュアルタイプの露光装置
・φ300mmウエハに対応しながらも装置はコンパクトに設計
ランプ交換も前面よりアクセス可能
・ランプは1kWを標準とし、高照度でありながらもランニングコスト削減に寄与