従来の市販のスポット膜厚測定では、ウェーハ内の数か所の膜厚を測定することで膜厚管理していましたが、
タカノのThinspectorでは1スキャンでウェーハ全面の検査を実施することができます。
あらゆる分野で高機能化、高品質化が進み、Webにはより高度な機能が求められています。
この高度化するWeb生産工程に対して微細、低コントラスト、キズ欠陥などの高速検査を可能にしたのがHawkeyesです。