4,5,6,8インチのウエハ搬送、ウエハ移載機、ウエハIDリーダー/ソーター等の製作をしております
カセット間のウエハ移載機の実機を展示しております。
異なる厚さのウエハを混在搬送可能です。
対応厚さ：250～600μm
オリフラ合わせ対応
出展製品