TDK

Nikaho-shi,  Akita 
Japan
http://www.tdk.com
  • 小間番号5533

実績のあるクリーン化技術そして窒素置換の技術を融合、発展させた各種高機能ロードポートの展示を行います。

■出展製品のご案内

①ロードポートTAS300 Type:J1

 TAS300は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程で使用されるFOUP(Front Opening Unified Pod)を自動的に開閉するための標準ロードポートです。オプションとして、FOUP内を窒素置換するシステム(フロントパージ、ボトムパージ)も搭載可能、これによりFOUP内を低酸素濃度・低湿度環境に維持します。

②高機能ロードポート各種

 上記に加え、各種高機能ロードポートの展示を行います。

       この機会に是非TDKブースにお立ち寄り下さい。