テクメイション

中央区新富, 東京都
Japan
http://www.techmation.co.jp

世界的に半導体製造ガスの制御に対して多くの実績がある製品をご紹介してます。

TESCOM社の高純度用圧力調整器、Mott社の1.5㎚,9LRV対応フィルター、ディフューザー、フローリストリクター等、さらにUE/Precision Sensors社のUL991対応圧力スイッチや微差圧モニターを出展致します。

これらは、国際品質保証規格 ISO9000 に基づく厳格な品質管理の下で⽣産された製品であり、迅速な納期で提供いたします。

またこれらのメーカーはカスタマイズが得意で、「お客様の研究テーマや⽣産現場に則した機器及び問題解決の提案」を積極的に行っておりますので、流体制御に関するご相談はぜひ弊社までお問合せ下さい。

TESCOM社製_半導体用圧力調整器_12シリーズ

■1.5"、1.125"IGS対応　ライン用の小型減圧弁_OEMガスシステムのための製品です。超高感度の圧力調整でMFC性能を強化。流量は2sccmから120SLPMまで対応。... More Info Less Info

【流体接触部の材質】

※他の材質を使用したモデルも御座います。ご相談ください。

TESCOM社製_半導体用圧力調整器_64-2600シリーズ

■ガスキャビネット、フックアップ、VMB/P対応のコンパクトな減圧弁_超高純度流体用の製品です。汚染物の発生が最少になるよう設計。流路部分からテフロン®のフリクションスリーブを排除した構造。... More Info Less Info

【流体接触部の材質】

Mott社製_高純度用ラインフィルター

■半導体製造装置用のラインフィルターです。 0.0015μm以上のパーティクルを99.9999999％除去... More Info Less Info

1.5㎚、9LRV対応の高いパーティクル除去性能で、超高純度のガス供給に最適な製品です。

Mott社製_高純度用フローリストリクター

■マスフローコントローラーなど流量制御装置の代替として採用されています。 Mott社の多孔質金属技術を用いて、半導体製造装置向けに特別に設計 ... More Info Less Info

オリフィス等による流量調整器に比べると、焼結金属全面で流体を受けるため乱流が起きにくく、長寿命です。

UE/Precision Sensors社製品_微差圧モニター ECHOLINE®

ガスキャビネットの排気を監視し、予期せぬシステムのシャットダウンを防止します。... More Info Less Info

【代表的な使用例】

・設備の排気状態管理

・室内外圧力管理

・ガス漏れ時などの圧力による防爆保護管理　など

【安全規格】

CE、SEMI-S2、UL508、UL991

【紹介動画】

※2分30秒程度