ウェハごとに設定されたプロセスフローに従って、シャトル(ウェハの搬送容器)を自動的に装置間搬送し、各装置での製造処理までコントロール!
戻りや追い越しも可能、ミニマル装置約20台でフルオートでのトランジスタ製造を実現!
実機を展示します! ぜひご覧ください!
少額な投資で、頻度の高い作業を自動化する!
リソグラフィ(ミニマル装置3台)など頻繁に行う工程の装置群の両端にローダ・アンローダを装着
時間のかかる処理を夜間に自動で終わらせる!
1台でも処理時間のかかる装置の左右にローダ・アンローダを装着