テムテック研究所

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弊社は、40年以上の実績を持つ半導体製造用圧力センサメーカーです。
当社がこれまで手掛けてきた、現場のニーズ／現場の課題と向き合った開発品、
日頃より皆様にご愛顧いただいている製品群を展示致します。
貴社のモニタリング、コントロール、検査等、様々な用途向けに是非ご検討ください。

皆様のご来場を心よりお待ちしております。

株式会社テムテック研究所

集積型ガスパネル用 圧力センサー HYPFZW
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・圧力損失の少ない構造で優れた置換特性
・ゲージ圧、連成圧ともに製作可能
・独自の荷重変換型ダイヤフラム構造により高性能を実現
・電流/電圧出力

半導体製造装置用 表示器一体型圧力センサー HYP6801
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・視認性に配慮したドットマトリクス表示器採用
・表示部に回転機構採用
・アナログ出力選択可能（※製作時オプション）
・ワンタッチゼロ調整機能搭載（AUTO ZERO）
・圧力警報出力2ch（オープンコレクタ）
・圧力損失が少ない少デッドスペース型構造

半導体製造装置用 絶対圧スイッチ PSH03
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・設定精度：±0.5%F.S.
・接ガス部全てがSUS316Lの高耐食圧力スイッチ
・独自の荷重変換型ダイヤフラム構造により高性能を実現
・VCRの他、Ｗシール、Ｃシールにも対応