半導体製造プロセス・ユーティリティ用の各種流量計測機器をご紹介致します。
弊社ブースでは、最先端の半導体製造プロセスに対応した高性能流量計からユーティリティ用流量計まで、幅広い用途に対応した各種流量計測・制御機器をご紹介します。
150L/minまでの流量測定が可能
溶着レスで液溜まりのない構造