東京大学 霜垣研究室

文京区,  東京都 
Japan
https://www.dpe.mm.t.u-tokyo.ac.jp/
  • 小間番号7607

「最先端半導体用ALDプロセス最適設計フレームワークの構築と半導体製造プロセスのGX」に関する研究成果を展示をします。