東京大学 霜垣研究室
文京区,
東京都
Japan
https://www.dpe.mm.t.u-tokyo.ac.jp/
小間番号7607
「最先端半導体用ALDプロセス最適設計フレームワークの構築と半導体製造プロセスのGX」に関する研究成果を展示をします。
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802 教育、研究機関
教育訓練/研究機関（非営利）/学会/大学
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