東芝デジタルソリューションズ

川崎市,  Kanagawa 
Japan
  • 小間番号6714


東芝半導体工場におけるSmart Manufacturing

東芝デジタルソリューションズは、半導体を作ってきた東芝だからこそご提供できる、Smart Manufacturingを実現するための
ソリューションを事例を交えて出展いたします。ぜひブースへお立ち寄りください。

●半導体工場向けビッグデータ基盤(★)
https://www.global.toshiba/jp/products-solutions/manufacturing-ict/meister-factory/meister-digitaltwin.html
ものづくりに関わる業務データとIoTデータを紐付け、ものづくりの現場をデジタル空間上に写像する製造業向け統合データモデルをご提供。
さらに、ペタバイトクラスの大量データを効率的に分析且つ次のアクションへと繋げる、半導体工場に特化したソリューションもご紹介。
#IoT
#統合データ基盤
#デジタルツイン
#ビッグデータ処理

●オフライン装置の自動化ソリューション
・Meister Apps 設備あやつり制御パッケージ
https://www.global.toshiba/jp/products-solutions/manufacturing-ict/meister-apps/apps-frpa.html
製造設備にかかる人手による繰り返し操作を後付け装置により自動化。作業効率の改善だけでなく製造データの追加取得によりデジタル化を推進。
#旧型設備の自動化
#RPA(Robotic Process Automation)
#老朽化設備活用
#レガシー半導体工場のデジタル化
#200mm製造ライン

・Quick Online
https://www.global.toshiba/jp/products-solutions/manufacturing-ict/quick.html
半導体装置とのオンライン連携を実現するSEMIスタンダードに準拠した通信パッケージ。IoTソリューションとの連携に欠かせない、装置への着工指示、装置稼働情報や着工情報の収集をご支援。
#旧型設備の自動化
#装置オンライン
#SEMIスタンダード対応
#レガシー半導体工場のデジタル化
#200mm製造ライン

●Meister OperateX ~施設管理ソリューション~
https://www.global.toshiba/jp/products-solutions/manufacturing-ict/meister-operatex.html?utm_source=www&utm_medium=web&utm_campaign=since2022tdsl
ガス、水、電力、薬液等、稼働のために大規模且つ多様なエネルギーを必要とする半導体工場において、それら動力設備の管理自動化、需要予測、最適化運用を実現。
#ユーティリティ施設管理
#グリーンイノベーション
#エネルギーマネジメント
#カーボンニュートラル

★:セミナーも開催いたします。ぜひお越しください!


 出展製品

  • QuickOnline
    MESホストと半導体装置間の通信規格や仕様の差異を吸収し、オンライン化を早期に実現することにより工場自動化をサポート。 業界標準のSEMIスタンダードに準拠しSECS/HSMS/GEM/GEM300の規格に対応した、半導体装置の早期オンライン化実現のための通信ソフトウェアです。 MESとの連携に欠かせない、装置への着工指示、装置稼働情報や着工情報などの通信をサポートします。...

  • QuickOnlineは工場自動化に必要な装置オンラインを支援する通信パッケージです。
    半導体製造装置や検査装置との通信は業界専用の通信プロトコルであるSECS/HSMSに対応し、半導体やLED生産工場、装置メーカーなど豊富な導入実績があります。
    リアルタイムに発生する通信データをIoTデータとしてMeisterFactoryシリーズと連携することも可能です。

    [QuickOnlineの特長]
    1.装置オンライン化を実現
       装置管理ホストや装置ごとの個別仕様の差異を吸収しフレキシブルな対応が可能
       既存の通信ソフトを変更することなくユーザ要求の通信を実現
       スタンダードGEMやGEM300装置への移行が可能
       複数台の装置を制御することも可能
    2.SEMIスタンダードの対応(業界標準に準拠)
       通信プロトコルは、HSMS-SS、SECS-Iいずれも対応
       SECS-Ⅱフルサポート、装置と一体でGEM準拠
    3.豊富なAPI
       ユーザアプリケーション構築のための豊富なAPIを標準装備
       メッセージ変換/加工を設定レベルで実現
       装置オンライン化の工期短縮、ソフトウェア開発費用を削減

  • Meister Apps 設備あやつり制御パッケージ
    東芝グループで培ってきた技術によりレガシー半導体工場のスマートファクトリー化を実現します。 200mm以前の半導体製造現場では旧型の製造設備が現役で動き続けていますが、その多くがオフラインでDX化推進の妨げとなっています。 当社は製造設備の改造をせずに定型操作の自動化と稼働データの収集が可能となるソリューションを提供します。 これにより製造現場のデジタル化に貢献します。...

  • 製造現場では、深刻化する労働力不足に備え、更なる生産性の向上が求められています。
    解決策の一つが製造設備のオペレーションの自動化です。
    しかし、200mm以前のレガシー半導体工場には旧型の製造設備が数多くあり、作業員による定型操作が残っています。
    「Meister Apps 設備あやつり制御パッケージ」は、製造設備の改造なしに外部装置を後付けすることで、定型操作の自動化が行えます。
    さらに、稼働データを操作画面から取得できるため、諦めていた旧型設備のIoT化やリモート監視が可能となり、オンライン対応を後押しします。

    【ポイント1】 改造なしで後付け
    対象の製造設備を改造せず、装置を後付けすることで操作を自動化できるようになります。 
    改造と比べて低リスクかつ短期間です。

    【ポイント2】 オンライン化も促進
    操作画面に表示されている値をデータ化できるため、諦めていた旧型設備のIoT化やリモート監視が可能となります。

    【ポイント3】 生産性を向上
    設備に対する定型操作を自動化することで、生産性の向上に加えて人為ミス撲滅の成果を出せます。
    作業者の多能工化も後押しします。

  • ものづくりIoTソリューション Meister Factoryシリーズ
    Meister Factoryシリーズは、半導体製造プロセスで発生する様々なIoTデータや他システムの業務データを統合管理するデータ基盤を提供します。これらの情報はダッシュボードやトレーサビリティ機能により、現場で発生した課題解決に役立てるとともに、工場を横断したプロセス全体のマネジメント強化とカーボンニュートラルの実現を支援します。...

  • 製造業のお客様各社では工場のIoT化に取り組まれておりますが、工場や工程毎にシステムが散在しているため、データは収集しているものの工程や工場を横断したデータ活用まで至らないといった課題が存在しています。
    これらの課題を本ソリューションが解決します。

    ①散在するシステムに存在する各種データを自動で関連付け管理する統合データ基盤を提供しています。
    単なるセンサやログのデータだけでなく、製造実績、品質、生産計画、在庫など、ものづくりに関わる様々なデータを蓄積し、生産状況の把握、生産性改善、品質改善、カーボンニュートラルの実現に貢献します。

    ②トレーサビリティ、要因分析、ダッシュボードなど、様々なものづくりデータを活用できるアプリケーションを用意しています。
    展示会場では、半導体工場をモチーフとした生産状況把握と現場改善に繋げるための活用デモを実機にてご紹介します。

  • 半導体工場の利用に特化したデータ処理基盤
    半導体製造特有の課題に対応した、「ペタバイトクラスの超大規模データに対する高速処理」「数100万カラムの取り扱い」「AIを活用した高度な分析」を特徴としたデータ処理基盤を提供します。品質管理の領域をターゲットとした異常検知・要因分析の業務効率化および歩留改善に寄与します。...

  • 半導体工場がスマートファクトリー化を推進していくためには、データ活用によって工場が抱える様々な課題を解決していくことが求められています。
    一方で年々増加の一途をたどる製造データを扱うのは困難を極め、IT部門はデータを効率よく保存・活用する仕組み作りという命題に悩まされています。
    このような命題に対し、東芝では、製造ラインから発生する様々な大量データを統一DBに蓄積し、効率的に分析且つ次のアクションへと繋ぐ仕組みを構築することで対応してきました。
    この仕組みでは、ペタバイトクラスの大規模データの並列分散処理とAI技術を活用した高度な分析により、データ加工および解析処理の時間を大幅に短縮することが可能です。
    展示会場では、東芝の実戦経験で培ったノウハウを組み込んだ品質管理(異常検知・要因分析など)の業務効率化および歩留改善に寄与するソリューションを紹介します。
  • MeisterOperateX ~ユーティリティ設備・動力管理ソリューション~
    半導体製造のように、大規模かつ緻密な製造プロセスを実現するには製造装置だけでなく、ユーティリティ設備及び動力の管理も大切な要素になります。そして最近では、カーボンニュートラル実現も求められるようになりました。 ここでは東芝グループ内外の半導体工場で活用されているユーティリティ設備・動力管理ソリューション及びそれらの事例についてご紹介します。...

  • ガス、水、電力、薬液等、稼働のために大規模且つ多様な動力を必要とする半導体工場において、ユーティリティ設備のIoTデータや現場作業データなどあらゆるデータを紐づけて多角的に活用出来るように統合管理を行なえることが本ソリューションの特徴です。
    これにより、高度な設備管理や動力のトレンド管理・予実管理を行なうことが可能となり、さらにデータを活用することによって、需要を予測し、動力設備の最適化運用を実現します。
    また、本展示において、カーボンニュートラルの実現に向けた取り組みについてもご紹介します。
    システムを活用して、省エネ施策の計画・策定をはじめ、施策実施後の効果測定から次期施策の実施判断まで実践プロセスをご紹介しいます。