東朋テクノロジーの応力測定機・膜厚測定機・ホール効果測定機を展示します。是非お立寄り下さい。
弊社は応力測定装置・膜厚測定装置・マクロ検査装置・ホール効果測定装置を取り扱っております。「薄膜ストレス測定装置FLX」「光干渉式膜厚測定装置Tohospec」「ムラ・異物マクロ検査装置 Stealth」に加え、「ホール効果測定装置HL9900」「自動ウェハ全面膜厚分布測定機 FullFace」を初出展致します。一部装置の実機展示も御座いますので、是非弊社ブースをご覧下さい。
薄膜マクロ外観検査装置「Stealth」は、ウェハ・FPD基板上に成膜された膜厚異常や洗浄・エッチングによる残渣を、基板全面に対して一括で高速・高感度に撮像し評価を行う装置です。目視検査から自動検査にすることで、検査のバラつきをなくし、定量評価できるようにします。また、ベアウェハ上最小300nmのPLSを1スキャンで可視化検査。