東北大学小野・Toan/戸田研究室

仙台市, 宮城県
Japan
http://www.nme.mech.tohoku.ac.jp/index.html

東北大学小野・猪股/戸田研究室ではナノテクノロジーやマイクロシステム技術を基盤とし、ＩＴ、医療、エネルギー、環境やナノサイエンスのための微小機械、マイクロ・ナノシステムの開発を行っています。また、極限の感度を目指した極限センサを開発し、従来には困難であった新しい応用を開拓しています。
近年、モノがインターネットを介してネットワークやビッグデータにつながり（IoT: Internet of Things)、高齢化や環境など世界規模の問題に貢献しようとする機運が高まっています。この中で、モノにおける情報を取得するための高感度・多機能センサは、次世代の重要な技術であり、研究室でもこれらに向けたセンサ技術に積極的に取り組んでいます。
また、MEMSs(Microelectromechanical systems)やNEMSs(Nanoelectromechancal systems)は、従来の半導体技術に新しい付加価値を付与した小型のシステムであり、当研究室はこれらの加工技術とともに、新しいMENS/NEMSの開発に取り組んでいます。

東北大学 小野・Toan/戸田研究室