お客様のニーズにお応えする【トータル・ガス・ケミカル・マネジメント】のサービスとソリューションをご紹介いたします！
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日々変化し続ける社会に対応すべく、「品質」「安全」「技術」「環境」の4つの切り口で
【ガスの入口から出口まで】お客様のニーズにお応えする
【トータル・ガス・ケミカル・マネジメント】のサービスとソリューションをご紹介いたします！
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【注目製品】
☆SiCパワーデバイス用 超高温熱処理装置 「Ailesicシリーズ」【業界シェアNo.1】
☆液種判別センサ 「ES-5000シリーズ」
☆ガス濃度計 「BGA244シリーズ」
☆高感度質量分析装置 「ASTON Impact」
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【取扱製品】
☆APTech社製プロセスガス用圧力調整器・バルブ
☆液体材料供給装置 「ANESYSシリーズ」
☆CMP用スラリー供給装置
☆ALD装置
☆ヘリウムガス回収装置 など、他多数
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