ようこそリアルタイムモニタリングの世界へ
TOFWERKは半導体プロセス・化学物質汚染の可視化を実現します
TOFWERKはスイスに開発・製造拠点を置くTOFMS(飛行時間型質量分析計)の専門メーカーです。
EI-TOFMSを用いた半導体プロセスガスのリアルタイムモニタリングによりプロセスの可視化を実現、さらには独自技術により超高感度・長期安定測定を可能としています。
CI-TOFMSを用いたクリーンルームやFOUP内化学物質汚染・ウェハのアウトガスのリアルタイムモニタリング、しかも1つの検出器で異なるクラスの化学物質をpptレベルで同時測定を実現しています。
既存の検出技術・検査方法の常識を覆す圧倒的なパフォーマンスにより開発・製造現場の生産性を飛躍的に向上することができます。
弊社ブースへお越し頂けることを心よりお待ちしております。