TOMOWGAWAの「iCas」製品は、「抄紙・塗工・粉体・粘接着」技術で、 「熱・電気・電磁波」問題を解決します。
当社の技術を掛け合わせて生まれた「iCas」ブランド製品は、 熱・電気・電磁波をコントロールし、お客様の製品の小型化・軽量化、ハイパワー化 （高電圧、大電流、高周波）に貢献しています。 「抄紙・塗工・粉体・粘接着」技術を軸に、素材・加工の双方に高い知見を持つこと を強みとしており、素材開発から加工開発までをワンストップで提供可能です。
今回は高度な制御が要求される半導体技術の中で対策が不可欠な「熱」を中心に展示 をしております。 あらゆる分野を加速させる開発力として、どんな未来も相談できるパートナーとし て、味見お試し段階の開発案件からお客様と共創しながら、新しい発見や視点を次々 と提案し続けてまいります。
本ユニットは温調されている気体/液体温度変動をさらに改善いたします。 使用方法は様々ですが、下記はその中での使用例となります。 ・チラー温調によりを±0.05℃にまで変動を抑えた冷却水温度をさらに 安定化。±0.02℃まで変動を抑える。 ・本ユニットをウェハー用のクーリングプレートに用いることで、 温度降下中のウェハー面内温度をより均一に保つ。 ご興味ある方は是非当社ブースまでご訪問ください。
本技術では下記のような特徴を実現しております。 ・高い抜熱能力 ・熱導電率を向上させる熱源～ヒートシンク間での高い密着性 ・熱源に対し最適化設計 一般的なヒートシンクと比較し、冷却温度を20℃以上低減させた 実例をブースにて紹介しております。 ご興味ある方は是非当社ブースまでご訪問ください。
本製品は下記のような特性を実現しております。 ・低弾性タイプ（開発品） 熱伝導率（定常法）：2W/mK 表面追従性：低弾性の性質から高い表面追従性を発揮します。 ・高絶縁性タイプ 熱伝導率（定常法）：2W/mK 電気絶縁性：AC65kV/mm (150℃1000h後も特性を維持） ご興味ある方は是非当社ブースまでご訪問ください。
本製品は弊社独自技術であるステンレス繊維シートを使用することにより、 下記のような特性を実現しています。 ・優れた柔軟性により部品表面にヒーターが追従し、ヒータ～被熱体間の 熱伝導を高効率化。 ・多孔質構造のヒーター材を使用することで低エネルギーで発熱が可能。 本展示会ではステンレス繊維を用いたヒーターを展示しておりますので、 ご興味のある方は是非弊社ブースにご訪問ください。