ナノ・ソルテック

横浜市港北区,  神奈川県 
Japan
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  • 小間番号6015

当社は新品装置の製造/販売・保守、KLA-Tencor装置及びAMAT製Review SEM装置/SEMVisionシリーズを中心とした中古装置買取販売・パーツ販売・保守メンテサービスを展開しております。

展示会場では当社の新製品である異物検査装置 ”WiN-10” , レビューステーション "NRS2000" をはじめ、KLA-Tencor装置及びAMAT SEMVisionをはじめとした半導体検査装置をご紹介させていただきます。

皆様のご来場を心よりお待ち申し上げております。

 


 出展製品

  • 異物検査装置 "WiN-10 "
    4~12インチのノンパターンウェハーに対応した異物検査装置で、パワー・ロジックデバイスの製造過程での各種装置のパーティクル管理に適しています。 独自の光学系技術により金属膜での感度も従来の同等機に比べて劇的な向上を図っているほか、24インチの大型モニターを搭載。 タッチパネル操作も可能にするなど、優れた操作性を意識した設計となっています。...

  • 安心の国内設計・製造

    4インチ、5インチ、6インチ、8インチ、12インチ Waferに対応

    SiCウェハ対応

    大型モニターでの高い操作性

    最新光学系搭載

    最高感度60nm(Bare Si)

    メタル膜上も高感度検査

    SFS6420からの代替機として

  • レビューステーション ”NRS2000”
    欠陥レビューに欠かせない光学式の高性能顕微鏡です。 欠陥検査装置で検出した欠陥の位置座標を取り込み、高性能顕微鏡によって異物や欠陥の形状等を詳しく調べることが出来ますので欠陥発生の原因特定に貢献し、歩留まり改善に寄与します。...

  • 安心の国内製造

    全部品が日本国内製なので、万が一の際も迅速に手配・交換できます。

    4インチ、5インチ、6インチ、8インチWaferに対応

    異なるサイズのWaferもインチコンバージョン無しで検査できます。

    Leica製品からの置き換えに最適です