半導体製造工程等での化学物質汚染、パーティクルにお困りではありませんか？装置の不具合解消、歩留まり向上にお役立ちします！
化学物質、パーティクルの除去が可能な高性能エアフィルタ、ケミカルフィルタのご紹介！
昨今の半導体デバイス、電子部品の高性能化に伴い、製造空間のクリーン化が重視されてきています。
様々な場所、用途にご使用可能なフィルタを取り揃えております。
・エアー配管のインラインに簡単取り付け
・酸性ガス、アルカリ性ガス、有機系ガスの除去が可能
・流量、対象ガスに応じて自由に設計
・ロボット駆動部の発塵除去
・クリーンルーム、装置内の局所クリーン化
・理化学機器内部の複合ガス除去
・小型FAN付フィルタユニット