粉末冶金技術をベースとして、セラミックスや超硬合金を製造しています バルク体での新材料をご紹介します
ドライエッチング装置向けのプラズマ耐性材を開発しています
マグネシアやイットリアといったプラズマに耐性のある酸化物をベースとした材料開発を行っています
①イットリアを超えるプラズマ耐性をコンセプトとした
マグネシアベースセラミックス「NMAシリーズ」
既存Si部材と比較して30倍の長寿命化効果が見込めます！
②イットリアベースセラミックス
ご用途に合わせて3種類の体積抵抗値品を準備しています
絶縁領域(>10^14 Ωcm)、中間領域(10^9~12Ωcm)、導電領域(10^0Ωcm)
③導電性セラミックス複雑形状加工品
ヒーターやノズルを想定した複雑形状の加工が可能なアルミナベースのセラミックスです
セラミックスでは実現が難しかった形状への加工が可能です