斜入射干渉計フラットネステスター FT-900/FT-17シリーズ
FT‐900/FT-17シリーズは、レーザー光斜入射干渉計による干渉縞を位相シフト法により画像解析することで、種々のサンプルをデジタル計測するものです。半導体ウェーハ(SiC、GaN、サファイヤ、LT、LN)などの研究開発、量産ラインの品質向上のために活躍します。
スライス工程～パターン付ウェーハまでの管理に最適。薄物・厚物に対応した方法で本来の形状を測定・解析します。
FT₋900を展示します。展示会場にてサンプル測定が可能です。（Φ8インチまでのウェーハ）