㈱P.R.A.では、以下の自社開発品の展示を行います。
① 半導体製造装置ESC用 HV電源
PHV-3K01W-01 / PHV-0302B / PHV-0303CT-SP1 /PHV-3K01W-01/PHV-3K-003-SP2
PRA1.5
② マッチングネットワーク (13.56MHz, 1000W)
PTU-001
③ 位相シフター
マルチチャネル対応
④ サーモアンプ基板
PTA001-3
⑤ Seren社製 RF電源/RF Match
HR601/ATS6
⑥ RF関連修理についてのご紹介