・ラインスキャンカメラとLED光源を使用した測定システム
・ユニットタイプなので既存の装置(EFEM等)に組み込むことが可能
・カメラ下をウェハーが一度通過するだけで全面の膜厚を測定
・可動部がないためパーティクル落下などのリスクを低減
<主な特徴>
【全面測定】
- ウェハー全面の膜厚分布傾向を管理可能
- 定点監視では難しいスポット状の膜厚異常を見つけることが可能
【高速測定】
- 12inchウェハーの場合、300,000point/secで測定可能
- 装置内でウェハーをロボット搬送中に測定
【フィードバック機能】
- 測定結果をヒートマップとグラフでモニター表示
- 膜厚測定値を座標データとセットでアウトプット
【カスタマイズ対応】
- AIを使用した異常分類
- お客様の仕様に合わせたアウトプットや通信仕様への対応