赤外、近赤外、ラマン分光法に基づく先端研究と QA/QC ソリューションを提供します。
赤外・ラマン分光分析のリーディングカンパニー
ブルカージャパン オプティクス事業部は、赤外・ラマン分光法に基づく先端研究と QA/QC ソリューションを提供しています。 シリコン中の炭素・酸素濃度、不純物定量、フォトルミネッセンス、膜厚計則など、各種アプリケーションを紹介します。 ご来場の際は是非弊社ブースへお立ち寄り下さい。
INVENIOは、シリコンウェーハの品質管理からデバイス開発まで、半導体の開発全般にわたり使用することができます。拡張機能により、フォトルミネッセンス測定やFT-IRイメージングによる大型チップの迅速分析など、さらに多くの機能が追加できます。
分光器内部を真空状態にすることで、大気中の水蒸気やCO2 等による赤外吸収に妨害されることなく、微弱なスペクトル信号の検出を可能とします。ナノサイエンス研究の分野における単分子層以下の薄膜試料などにおいて、真空型FT-IR が威力を発揮します。