堀場製作所

京都市南区吉祥院宮の東町,  京都府 
Japan
http://www.horiba.com/jp/semiconductor/
  • 小間番号4808


Lab to Fab HORIBA All Around!

HORIBAは、半導体製造における製造プロセス(ドライプロセス・ウェットプロセス・リソグラフィ)、研究開発、品質管理、 さらに工程で使用する純水や排水処理などでの水質計測などに向けた多彩なアプリケーションを展開しています。 製造プロセスでは、半導体の微細化・多層化が進展し、これまで以上に精密な計測・制御が求められています。 流体制御、液体計測、分光分析など様々なコア技術を活用し、 異物検査装置などを提供しています。


 出展製品

  • レティクル/マスク異物検査装置 PD Xpadion
    半導体製造プロセスにおける異物検出...

  • PD Xpadionは、光学/ステージ設計、さらに基幹ソフトウェアを含むすべてのプラットフォームを一新。分析計の高い稼働率と長期安定性はそのままに、操作性を大幅に向上しました。信頼性の高い光学系による「スキャン」、新規機能を加えた「レビュー」、革新的なセンサーとの組み合わせによる「アナライシス」といったオートメーションへの拡張機能を強化し、Smart Factry対応を実現します。

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