みずほリサーチ＆テクノロジーズ

文京区, 東京都
Japan
http://www.mizuho-rt.co.jp/solution/corporation/industry/manufacturing/deviceonline/index.html

小間番号6914

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出展製品

装置オンライン、装置制御システムにご興味をお持ちの方は是非、みずほリサーチ＆テクノロジーズ（6914）にお立ち寄り下さい

みずほリサーチ＆テクノロジーズは、Smart ManufacturingやIndustrie4.0をにらみ、半導体・液晶分野における20年以上の工場自動化、装置自動化の業務経験にもとづく半導体装置制御ソリューション、装置通信ソリューションなど、半導体装置の制御を対象としたITソリューションを展示いたします。

キーワードは「Control(制御)」、「Collect(収集)」、「Integration(統合)」です。

PTO®は、半導体製造装置に組込むことで、装置内のデバイスを「Control(制御)」し、ジョブ管理や材料移送等を実現します。
EIB®は、装置の詳細データを「Collect(収集)」し、装置と工場システムの橋渡し役として、製造データを工場システムにリアルタイムに送信します。
PFSC™は、ステーションコントローラとして、半導体製造装置群を「Integration(統合)」し、工場システム（MESやRMSなど）から製造指示を行うとともに、装置からの製造データを工場システムにフィードバックすることで製品品質の向上に寄与することができます。

半導体製造装置の開発期間削減を目指す装置サプライヤー様、また品質向上のためのファクトリーオートメーションソリューションをお探しのICメーカ様にぜひご覧いただきたいソリューションです。

PTO®：装置機器の自動制御とオンライン機能の融合装置構成機器の自動制御と、オンライン機能のプラグインで開発期間を短縮し装置の安定稼働に寄与するソフトウェアです。
EIB®：HSMS、SECS、GEM、GEM300、InterfaceA対応する装置組込型の通信接続・装置オンラインソフトウェアです。
PFSC™：装置の統合管理と工場システムと装置間のコミュニケーションを実現するステーションコントローラです。

従来のConX300™、GWGEM®、SDR™も展示いたします。

*PTO®、EIB®、PFSC™、ConX300™、GWGEM®およびSDR™は、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける商標です。

出展製品

装置統合制御ソフトウェア PTO™

PTOは、半導体装置内デバイスの制御を始め、装置内ウェハ搬送制御、装置操作画面(HMI)、工場ホストとの SEMI規格準拠通信といった装置内部のソフトウェア機能を統合した、装置統合制御ソフトウェアです。... More Info Less Info

PTOによる装置制御システムの構築

PTOは、実行環境で動作する本体プログラム、および画面プログラムがあります。
これらプログラムに対し、実現させたい部品を選択し、また各部品に与える動作パラメータの設定を設定ユーティリティ「PTC」で指定します。

設定ユーティリティ「PTC」による機能部品選択と、動作パラメータの設定

設定ユーティリティ「PTC」を使用し、実現させたい部品の選択と、選択した部品に与える動作パラメータの設定を行います。

設定ユーティリティ「PTC」によるハードウェア構成の設定

装置が実装しているハードウェア構成に合わせて、PTCでハードウェア設定を行います。
PTOが標準で用意していないハードウェアも、仕様をご提示いただくことで実装が可能です。

設定ユーティリティ「PTC」によるHMIの設定

装置操作画面(HMI)もPTCで設定を行います。
ログイン認証から、画面タブ構成、各画面に配置する部品に至るさまざまな設定を行うことが出来ます。

PTOの主な機能部品

【HMI画面を構成する部品群】

ログイン認証、Job生成、各種ステータス表示、アラーム表示/解除、レシピ一覧表示/選択、チャート表示、シグナルタワー点灯状況、スロットマップ表示、ロードポート状態、ホスト通信状態、企業ロゴ、履歴表示、設定パラメータ表示/編集など。

【仕掛り品処理のための部品群】

キャリア仕掛り制御、スロットマップ読み取り、ジョブ(PJ/CJ)生成と実行、ウェハ搬入出ディスパッチ、レシピ選択/レシピパラメータ編集、真空装置制御(スロットバルブ開閉やベント)、全ウェハ払出し制御など。

【ハードウェア制御のための部品群】

各種ハードウェアメーカのロードポート、EFEM、ロボット、ドアコントローラ、アライナー、ライトタワー、LoadLock、ウェハリーダー、ファン、ポンプ、ゲージ、MFC、バルブ、タグリーダーなどの制御用ドライバ、およびPLCアクセスの為のOPCインターフェース。

【ホスト通信のための部品群】

SECS、GEM、GEM300、EDA、200mmShimアダプタなど。

上記の他、独自に部品をプログラム開発し、PTO標準部品の置き換えや拡張が可能な構成になっています。

*PEER Group^®は、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける登録商標です。
*PTO™は、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける商標です。
*その他記載の製品、サービス名は各社の商標または、登録商標です。

.NET対応マルチ通信基盤ソフトウェア EIB®

EIBは、E30 GEM、GEM300、およびInterface-A(EDA) SEMI規格群に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。装置オンライン時に求められる主要な通信機能を統一環境で実装することができます。 ... More Info Less Info

SEMI規格へのインターフェースを提供

SECS/GEM, GEM300 SEMI規格対応

GEM規格ならびにGEM300と呼ばれる300mm半導体工場で要求される各SEMI規格で必要とされるメッセージフォーマットやシナリオを認識しており、それぞれの規格に対応したライブラリを提供します。

開発者はライブラリ内の装置データセット用関数、イベント通知関数などを使用することで、SECS/GEM、GEM300に沿った通信プロトコルの実装を容易に行うことが可能です。

対応SEMI規格： E4, E5, E30, E37, E39, E40, E87, E90, E94

EDA関連 SEMI規格対応

次世代の半導体工場を建設するデバイスメーカでは、半導体生産性向上のためより先進的かつオープンなデータ収集仕様：SEMI規格の実装を装置ベンダーに求めています。EIBは、以下にあげるSEMI規格に対応するソフトウェアです。

E120 Common Equipment Model
E121 XML Style & Usage Guide Lines
E125 Equipment Self Description
E128 XML Message Structure
E132 Authentification and Authorization
E134 Data Collection management

XML/SOAPメッセージ交換処理やデータコレクションプランのアップロード・ダウンロード、クライアント認証処理、 ACL(AccessControlList、アクセス制御リスト)管理などは全てEIBが行います。
装置アプリケーションは装置データセット、イベント通知処理などに専念することが出来ます。

また、マルチクライアントをサポートしています。同時に複数EDAコンシューマ(消費者)からのデータ収集要求に対応しており、装置アプリケーションはこれらを意識する必要は有りません。

OPC、COM、.NET通信プロトコルへのインターフェースを提供

EIBはOPC、Microsoft COM/DCOM、Microsoft .NETなどの各種プロトコルで装置や周辺デバイスと接続できます。各プロトコルでEIBと接続するアプリケーションのサンプルを用意していますので、具体的な実装例を見ながら通信プロトコルへの対応が可能です。

.NET Framework / C++ 開発環境に対応

EIBはMicrosoft .NET Framework開発環境、非.NETのC++開発環境の２つの開発環境をサポートしています。開発者は慣れ親しんだ開発環境で開発を行うことが可能です。

マルチコネクションに対応

EIBは複数ホスト、ECS、EDA Clientとの接続をサポートしています。

複数装置インターフェースを単一SECS/GEMインターフェースへ統合する、複数データソースを単一EDAインターフェースに統合するなど、通信システムの統合が可能です。

運用・開発支援用に豊富なユーティリティを提供

EIB Model Builder

CEM/ESD(E120/E125)に準拠した装置モデルを容易に構築・メンテナンスできます。
また、GEM/GEM300/EDA通信仕様の設定も本ユーティリティで行います。
値の設定漏れ・重複などのエラーチェック機能を備えており、開発負荷の軽減に寄与します。

EIB ModelBuilderの画面イメージ

EIB Model Builderの画面イメージ

EIB Explorer

動作中のEIBが持つ様々なオブジェクト情報をリアルタイムに参照することができます。
(EDAメタデータ、GEM/GEM300の各種SV、ECデータなど)
オブジェクト情報の書き換えも可能であり、デバッグツールとして活用が可能です。

EIB Explorerの標準ビューの画面イメージ

EIB Explorerのグラフィカルビューの画面イメージ

EDA Pro Client

装置インターフェースのデバックやテストが容易に実施できます。

EDA Pro Clientの画面イメージ

Log Viewer

リアルタイムにログを参照することが出来ます。ログ情報をフィルタリングし表示する情報を絞り込んだり、マルチウインドウにより複数のログファイルを同時に参照することが出来ますので、トラブル解析時に役立ちます。

*PEER Groupは、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける登録商標です。
*EIBは、カナダ PEER Intellectual Property Inc.社の米国における商標です。
*Microsoft .NETは、米国Microsoft Corp.の米国およびその他の国における登録商標です。
*その他記載の製品、サービス名は各社の商標または、登録商標です。

PEER Factory Station Controller PFSC™

カナダPEER Group®社製PEER Factory Station Controller (PFSC™) は、ステーションコントローラー構築のためのソフトウェアソリューションです。半導体工場側で各装置とPFSCを接続することで、上流工場システム(MES など)と装置間のコミュニケーションレイヤー・通信経路を構築することが可能です。... More Info Less Info

PFSC™は、半導体製造設備をオンライン化し先進的な製造ラインにアップグレードするためのステーションコントローラー構築サービスです。数千の設備接続実績をもつEIB^®ソフトウェアを搭載しており製造ラインの生産設備をオンライン化することでさまざまなメリットを享受することができます。

PFSCによるステーションコントローラー導入効果

PFSCを活用して上流工場システムと製造設備間のコミュニケーションレイヤーを構築することで、生産ラインの高度化と自動化を同時に推進することができます。装置へのわずらわしい手作業での製造指示入力から開放され指示ミスによる歩留まり低下を抑制します。また装置から報告されたデータを上流工場システムやデータベースへ連携することでリアルタイムレシピパラメータ調整を行ったり、蓄積データを統計解析し生産ラインのボトルネック発見や生産性向上施策の元データとして活用することが可能となります。さらに生産ラインのダッシュボードGUIにより設備状態の見える化を推進することで設備の予防保全と生産ライン全体の可用性向上施策を進めることが可能となります。

PFSCのシステムアーキテクチャ

PFSCはWindowsで稼働するステーションコントローラーであり、管理対象の設備と１対多の関係となることが一般的です。PFSCはお客様の多様なニーズと設備固有仕様にフレキシブルにフィットすることができるよう工場側システムインターフェース層、ビジネスロジック層、設備接続インターフェース層の3層で構成されています。工場側システムインターフェースはMQTTや.NETなど汎用インターフェースを標準装備しているほか、お客様固有の仕様をインテグレーションすることが可能です。設備接続インターフェースはSECS、HSMS、GEM、GEM300、OPC-DAといった業界標準通信規格をサポートしており、設備固有の通信仕様もインテグレーションすることができます。

設定ユーティリティ「PDT」による設備情報のインポートとビジネスロジックの設定

設定ユーティリティ「PDT」は設備メーカーが提供するPDF形式やWord型式の通信仕様書をインポートしステーションコントローラーからアクセス可能なよう自動設定を行うことができます(SEMI E30対応設備の場合)。さらにPDTによって設備シミュレータも自動構築が可能でありシミュレータを活用することでシステム構築スピードを高めることができます。

*PEER Group^®は、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける登録商標です。
*PFSC™は、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける商標です。
*EIB^®は、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける商標です。
*その他記載の製品、サービス名は各社の商標または、登録商標です。

装置総合テストツール PFAT™

PFATは半導体製造装置のSECS通信インターフェースのテストに特化したさまざまな機能を有しています。... More Info Less Info

機能

グラフィカルインターフェースによるテストの定義と実行

テストシナリオの設定画面や実行画面では、フローチャートライクなビジュアルユーザインターフェースを採用しています。

テスト設定の定義では、テスト部品をドラッグ&ドロップすることで、テストシナリオの構築、組み換え、繰り返し処理などが容易に行えるほか、テスト実行時はテスト進捗状況がビジュアルかつリアルタイムに表示されます。

フローチャートテスト設定・定義の詳細

テストシナリオはフローチャートを書くイメージで直感的に設定が可能です。また一般的なプログラミング言語のサブルーチンのようなイメージで、ある一定のシナリオを部品化し流用することができます。

また、処理Aの次は処理B、といった単純なシナリオから、条件分岐、複数条件の同期処理、リピート処理といった複雑なシナリオを設定することができます。

テストレポート機能

テストの実施結果は自動的に保存され、レポートとして参照が可能です。過去に実施したテストレポートも日付指定で容易に呼び出し参照が可能です。

通信ログはSECS規格-E5のSECSアイテムディクショナリで定義されたアイテム名が注釈としてログ上に表示され、複雑なSECSメッセージの各アイテムを容易に判別できるようになっています。

*PEER Group^®は、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける登録商標です。
*PFAT™は、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける商標です。
*その他記載の製品、サービス名は各社の商標または、登録商標です。

SECS、HSMS対応シミュレーター SECSIM Pro®

SECSIM Pro+ は、半導体製造装置や工場ホストシステムに実装されるSECS・HSMS（SEMI半導体装置通信スタンダード）通信機能のテストやデバッグができる通信シミュレートソフトウェアです。... More Info Less Info

優れた操作性と視認性

機能ごとに分かりやすく分類された複数のサブ画面によるユーザインターフェースを採用し、SECSメッセージの定義から通信ログの表示まで、優れた操作性と視認性を実現しています。

SECS-IとHSMSの両方をサポート

SECS-IとHSMS両方のインターフェースをサポートしており容易に切替えができます。

SECS-Iレベルでの通信エラーテスト

SECS-Iレベルでの多彩な通信エラーテストを実現しています。ハンドシェークコードのエラーケースから各種タイムアウトまで、SECS-Iで想定されるエラーをシミュレートできます。

強力なスクリプト言語により複雑な通信シナリオから自動テストまでを実現

SECSIM Pro+は標準で自動送受信機能を備えており、SECS通信ソフトウェアのデバッグ作業を強力にサポートします。またスクリプト言語を設定することにより、あらゆるデバッグ、テストの実行ができます。

SECS対応の複数ロードポートを同時接続（複数ポートのシミュレート機能）
応答がエラーなら警告表示（受信メッセージのアイテム値判定や処理分岐機能）
受信メッセージに応じて応答メッセージを変更（受信メッセージのアイテム値判定機能）
マニュアル入力で送信値をリアルタイムに入力（インタラクティブ機能）
ラッシュテストや繰り返しテスト（処理分岐機能）
ファイルを読取り、装置のレシピデータなどに使用（ファイルアクセス機能）
受信したデータの一部や全部をディスクファイルとして保存（ファイルアクセス機能）
現在時刻やファイル名をSECSデータとして送信（時刻取得、ディスクアクセス機能）

上記の活用シーンは一例であり、アイデア次第でさまざまなデバッグの効率化、テストの実現が可能です。

*PEER Group^®は、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける登録商標です。
*PFAT™は、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける商標です。
*その他記載の製品、サービス名は各社の商標または、商標登録です。