村田機械

天井に設置した軌道を走行し、ベルト駆動で上下するホイスト機構により保管設備や製造装置のロードポートに"ダイレクトに"アクセスする自動搬送装置です。

OHTとはOverhead Hoist Transportの略です。SRC350Xはモーターで駆動します。300mm半導体工場以降の主力搬送システムとして広く認知されており、現在では工程内搬送のみに留まらず工程間や工場間搬送にまで利用されているケースもあります。お客様のニーズに合わせてこれまで多くの種類の搬送物に対応した実績があります。

天井に設置した軌道を走行し、ベルト駆動で上下するホイスト機構により保管設備や製造装置のロードポートに"ダイレクトに"アクセスする自動搬送装置です。

OHTとはOverhead Hoist Transportの略です。SRC350Xとの違いはG3-3XはLDM（Linear Direct Motor）を使用し、磁力を推進力として走行します。300mm半導体工場以降の主力搬送システムとして広く認知されており、現在では工程内搬送のみに留まらず工程間や工場間搬送にまで利用されているケースもあります

お客様のニーズに合わせてこれまで多くの種類の搬送物に対応した実績があります。

CDWXはFOUPからウエハを取り出し、専用のケース（セル）で高密度に保管するシステムです。ウエハをハンドリングロボットで専用のリングに一枚ずつセットし、25枚のリングを１つのセルとしてラックで保管。リング形状を工夫することで保管時のセル内のウエハの間隔を約3.7mmとし、ウエハの搬送容器であるFOUP（ウエハの間隔＝約10mm）と比較して高密度での保管を可能としました。

セルは、リングへのウエハのセット時や取り出し時は、リングの上下ピッチを拡げた状態で行い、作業終了後にピッチを元に戻すことで、ハンドリングロボットによる作業性と保管時の省スペースを両立しています。

後工程のパネルレベルパッケージ(PLP)に対応した重量物対応OHTを開発しました。

OHT軌道は、FOUP対応OHTと同じ軌道を共存走行が可能です。