SiCウエハの残留加工歪みを可視化する、革新的な検査装置YLSが完成しました。
弊社5424ブースでお待ちしています。
山梨技術工房は、レーザー光散乱をコア技術として、ノンパターンウエハの異物検査装置を製造・販売しています。
今回の展示会では、関西学院大学・QureDA Research・豊田通商・弊社にて共同開発した、SiCバルクウエハ製造工程で生じるウエハ表層加工歪みを検査する装置「YLS」の販売を開始します。
パネル展示
SiCウエハ加工歪み検査装置 YLS
SiCウエハ加工歪み検査装置YLSは、SiCバルクウエハ製造プロセスにおいてウエハ表層近傍に生じる残留加工歪み層を、相対比較検査で非破壊・ウエハ全面・高速でマップ上に可視化する検査装置です。
残留加工歪み層は、ウエハ良品率低下やデバイス製造の不具合原因となることがわかっていましたが、ウエハ全面を可視化できる技術が存在せず、課題とされてきました。その課題を解決する画期的な装置となります。
また、検査データの分析コンサルティングを行うオプションはQureDA Researchによる提供を計画しております。是非弊社ブースにお立ち寄りください。
テープフレームウエハ表面異物検査装置 YPI-MX TF
テープフレームに貼られてプロセス処理される半導体後工程も、異物管理を広く求められるようになっています。YPI-MX TFはテープフレームに貼られたウエハ表面の異物測定が可能な装置で、ダイシング済みウエハや保護テープの糊残渣などの異物管理を目的とした装置です。マニュアル搬送での300mmテープフレーム測定はもちろん、自動搬送にも対応可能な装置となっています。
SiCウエハ表面異物検査装置 YPI-MX DC
SiCウエハ表面を0.12μmから測定可能な、SiC及びシリコンウエハに対応するウエハ表面異物検査装置です。SiC量産プロセスのプロセスモニターや洗浄管理などに最適な装置となっており、4インチから8インチサイズの異物測定が可能です。またマニュアル搬送やSMIF自動搬送にも対応しており、試作から量産まで幅広いご要望にお応えできます。
ウエハ表面異物検査装置 YPI-MX
シリコンから透明系化合物ウエハなど幅広い分野に適合可能な、ウエハ表面検査装置です。量産プロセスに最適な自動搬送やFOUP・SMIFなどにも対応可能な装置となっています。小径ウエハから300mmウエハまで、幅広い異物測定ニーズにお応えする装置です。
卓上型ウエハ表面検査装置 YPI-MN
研究所や開発拠点など、限られたスペースでウエハ表面異物測定ができるように設計された卓上型装置です。搬送はマニュアルで行い、測定は自動で行うセミオートタイプのウエハ表面検査装置です。
出展製品