法政大学 イオンビーム工学研究所

小金井市緑町,  東京都 
Japan
http://www.hosei.ac.jp/nano/
  • 小間番号7702

GaNパワーデバイス作製・評価で実績があります。また、高エネルギーイオン注入やRBSによる分析等の共同研究も承ります。

超低オン抵抗、世界最高耐圧と高破壊耐量のGaN自立基板上p-n接合ダイオードの技術情報展示。

イオン注入、RBS等のイオンビーム関連技術の展示。

Categories

203 装置、検査及び測定
  • 顕微鏡:光学顕微鏡
  • 顕微鏡:原子間力顕微鏡(AFM)
  • 顕微鏡:走査型電子顕微鏡(SEM)/集束イオンビーム/透過型電子顕微鏡(TEM)
  • 207 装置、プロセス
  • イオン注入装置
  • エッチング/ストリッッピング/アッシング-ドライ及びウェット装置
  • リソグラフィ;露光/アライナ/直接描画装置/ステッパ/スキャナ/ナノインプリント
  • 熱プロセス-拡散/酸化/アニール/RTA/RTP装置
  • 208 装置、テスト
  • 分析;回路/マニュアル/電子ビーム/光学/ウェーハプローバを含むプローブ装置
  • 300 材料、組み立て
  • パッケージ;セラミック及びその他の高温コンパウンド
  • 308 材料、基板
  • 化合物半導体(GaAs、GaN、InP、SiGe)
  • 700 製造サービス
  • イオン注入サービス
  • 701 製造サービス、またはコンサルテング
  • CAD/CAM/CIM
  • ナノテクノロジーIP開発/研究
  • Send Mail

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